알루미나 세라믹 진공판

알루미나 진공척(Al₂O₃ 진공척)

기초 소개

알루미나 진공척은 고순도 산화알루미늄(Al₂O₃) 세라믹으로 제작된 고정밀 진공 클램핑 장치입니다. 균일한 다공성 구조 또는 미세 진공 채널을 이용하여 안정적인 음압을 생성함으로써 웨이퍼, 유리, 필름과 같이 얇고 깨지기 쉬운 가공물을 기계적 스트레스 없이 안전하게 고정합니다.

핵심 소재 및 특성

• 재질: 초고순도 99% Al₂O₃ 세라믹(다공성 ​​또는 치밀형)

• 기계적 특성: 높은 경도, 긁힘 방지, 낮은 변형률, 뛰어난 강성

• 열적 특성: 높은 내열성, 우수한 열전도율, 고온 공정에서도 안정적

• 화학적 특성: 뛰어난 내식성, 전기 절연성, 오염 방지

• 구조적 특징: 균일한 다공성은 표면 전체에 걸쳐 일관된 진공 분포를 보장합니다.

주요 특징

• 대기압 환경과 고진공 환경 모두에서 작동합니다.

• 도체, 반도체, 절연체 및 다공성 물질을 흡착합니다.

• 균일한 흡착력으로 얇은 가공물에 변형이나 국부적인 응력이 발생하지 않습니다.

• 빠르고 간편하게 켜고 끌 수 있으며, 잔류 전위가 없고, 먼지가 달라붙는 것을 방지합니다.

• 표면 평탄도가 매우 높아 초정밀 가공에 적합합니다.

주요 응용 분야

• 반도체: 웨이퍼 리소그래피, 에칭, 연마 및 테스트

• 디스플레이: 대형/초박형 유리 기판 처리

• 태양광 발전: 실리콘 웨이퍼 절단 및 테스트

• 정밀 광학: 렌즈 및 광학 부품 가공

제품 유형

• 다공성 알루미나 척: 부드럽고 균일한 흡착을 위한 미세 다공성 구조

• 블랙 알루미나 척: 포토리소그래피에서 빛 반사를 줄여줍니다.

• 고밀도 알루미나 척: 고강도 정밀 클램핑을 위한 높은 강성

이싱선싱기술유한회사

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팀: 시리 셴싱 세라믹