알루미나 진공척은 고순도 산화알루미늄(Al₂O₃) 세라믹으로 제작된 고정밀 진공 클램핑 장치입니다. 균일한 다공성 구조 또는 미세 진공 채널을 이용하여 안정적인 음압을 생성함으로써 웨이퍼, 유리, 필름과 같이 얇고 깨지기 쉬운 가공물을 기계적 스트레스 없이 안전하게 고정합니다.핵심 소재 및 특성 ● 재질: 초고순도 99% Al₂O₃ 알루미나 세라믹(다공성 또는 치밀형) ● 기계적 특성: 높은 경도, 긁힘 방지, 낮은 변형률, 뛰어난 강성 ● 열적 특성: 높은 내열성, 우수한 열전도율, 고온 공정에서도 안정적 ● 화학적 특성: 뛰어난 내식성, 전기 절연성, 오염 방지 ● 구조적 특징: 균일한 다공성은 표면 전체에 걸쳐 일관된 진공 분포를 보장합니다.
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